Explore full metrics on Scilit
(Calculated once Scilit publication data is synced: current year − year of first publication + 1)
<mml:math display="inline"><mml:mrow><mml:mn>20</mml:mn><mml:mspace width="0.3em"></mml:mspace><mml:mi>μ</mml:mi><mml:mi mathvariant="normal">m</mml:mi></mml:mrow></mml:math>20μm and a period of <mml:math display="inline"><mml:mrow><mml:mn>1</mml:mn><mml:mspace width="0.3em"></mml:mspace><mml:mi>μ</mml:mi><mml:mi mathvariant="normal">m</mml:mi></mml:mrow></mml:math>1μm , <mml:math display="inline"><mml:mrow><mml:mn>750</mml:mn><mml:mspace width="0.3em"></mml:mspace><mml:mi>nm</mml:mi></mml:mrow></mml:math>750nm , and <mml:math display="inline"><mml:mrow><mml:mn>500</mml:mn><mml:mspace width="0.3em"></mml:mspace><mml:mi>nm</mml:mi></mml:mrow></mml:math>500nm have been fabricated using silicon wafers with resistivities of 0.76, 0.35, and <mml:math display="inline"><mml:mrow><mml:mn>0.15</mml:mn><mml:mspace width="0.3em"></mml:mspace><mml:mi>Ω</mml:mi><mml:mspace width="0.3em"></mml:mspace><mml:mi>cm</mml:mi></mml:mrow></mml:math>0.15Ωcm , respectively.No biography provided yet